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大尺寸衍射光波导

技术特点

  • 超大幅面纳米尺度全息光刻平台
  • 口径600mm内大幅面微纳米光栅结构
  • 自研快响应的高精度锁定系统
  • 大幅面纳米结组织作加工能力

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